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超越所见,不负所托

更新时间:2023-07-04  |  点击率:617

智能洁净室技术为IC制造保驾护航

——访中电四公司市场管理总经理张琪

       随着市场环境的优化升级和国家政策的有利驱动,新能源汽车、智能驾驶、智能终端和5G等对集成电路的需求激增。而作为典型的高精尖产业,集成电路的制造对生产环境和工艺的要求苛刻。其中,洁净室的建设是集成电路制造中的关键环节,对产品的性能具有至关重要的影响。


       作为我国专业从事洁净室机电设备安装的工程公司之一,中国电子系统工程第四建设有限公司(以下简称“中电四公司")可为集成电路制造企业提供设计、采购、项目管理、施工、设施管理、洁净室配套产品制造等一体化“交钥匙"工程服务。


       2021年,在为北京集电控股有限公司(以下简称“北京集电")建设集成电路车间洁净室项目中,中电四公司为满足客户对环境监测的高精度和高稳定性要求,选择与维萨拉合作,将工业用温湿度变送器HMT330、温湿度变送器HMT370EX和温湿度变送器HMT120等系列产品,成功应用于北京集电厂房洁净室。自应用以来,相关仪表和变送器运行稳定,测量准确。


纤毫必显 打造高标准的洁净车间

       穿戴严密封闭的特制防护服和鞋套,经过严格的车间消杀流程,再通过数道相互独立隔离的车间闸门,操作员方能进入标准严苛的集成电路厂房洁净室。不同于一般工业品,集成电路从单晶硅片制造到IC制造再到IC封装的重要步骤,均需在洁净室中完成。无论是微小的粉尘和碎屑,还是无形的环境温度和湿度等,都将对制造过程产生重大影响。


       “集成电路的制造对生产环境的要求非常高,需要对温度、湿度等参数进行准确、稳定的测量,从而确保生产环境的稳定可靠。"中电四公司市场管理总经理张琪表示,“2020年,早在北京集电洁净室项目的投标阶段,我们知道维萨拉的相关产品客户对温湿度测量的苛刻需求。于是,我们决定采用维萨拉产品作为测量仪表进行投标,由此也开启了与维萨拉一系列的深度合作。"


       随着我国集成电路制造工艺的升级,其制造过程需要的洁净程度也水涨船高,这对于洁净室的建设提出了越来越高的要求。据介绍,北京集电所制造的集成电路工艺目前已突破28纳米,对应的洁净室环境温度误差为±0.3°C,湿度误差为±3。一旦温度和湿度突破限定误差,将显著影响产品的良品率、使用性能和可靠性。


       针对上述应用环境,维萨拉的多款产品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中,HMT330可在恶劣环境中和苛刻需求下实现测量,还可针对不同的应用环境实现定制,从而满足多样的客户需求。HMT120则是一款专为洁净室等环境打造的温湿度变送器,智能测量探头可现场更换,轻松实现测量的可追溯性。


       值得一提的是具有“本质"功能的温湿度变送器HMT370EX。即使在误操作或发生故障的情况下,这款产品也不会造成事故或设备损坏。截至目前,该产品已获得多项本质认证。除测量相对湿度和温度外,HMT370EX还支持输出其他湿度参数,如露点温度、湿球温度、湿度、混合比、水浓度、水质量分数、水汽压和焓值。


       “维萨拉产品的测量精度不仅洁净室的设计标准,更大幅压缩了标准误差的范围:将其降低至误差的三分之一,达到了湿度±1、温度±0.1°C,充分保障了洁净室的可靠运行。"张琪补充道,“出于项目整体精度和稳定性的考虑,维萨拉的测量仪表成为我们这个项目的理想选择。"


击破阻隔 跨越重洋的迅疾响应

       对于高精尖的工程建设而言,时效的重要性不言而喻。项目所需的各项产品和材料往往有着严格的供货周期,某项关键材料的缺失,将直接影响项目的进度。而全球疫情的起伏不定,给产品的供货时效增添了一抹不确定性。


       “国际物流需提前预定,叠加疫情影响,一些材料和产品需要提前半年甚至更久预定。"张琪表示,“然而北京集电的项目周期非常紧张,高质量的测量产品对项目的完成意义重大,我们一度非常担心维萨拉的产品能否及时到货。"


       事急从权。在产品供货紧张的背景下,维萨拉及其代理商配合,在与中电四公司达成初步购买意向、尚未签署正式购买合同时,提前锁定了项目所需的产品,并充分协调内外部资源,将产品如期送抵客户手中。


       “北京集电的项目如期竣工,各项指标均达到了预期水平。截至目前,相关项目设备运行稳定,客户未反馈任何售后需求。而没有售后需求,也是对我们产品质量的高度认可。"谈及双方的合作过程,张琪感触良多,“为了我们的项目,维萨拉的对接同事克服了很多困难,给予了支持。这增进了我们双方的信任,让我们很感动,也为后续的合作奠定了良好的基础。"


       每年,像洁净室建设之类的专业承包约占中电四公司总工程量的50。特别是在超大面积洁净室、超净洁净室、高空间洁净室、超精度洁净室的建设方面,中电四公司有着丰富的工程经验和相关工程技术。


       与此同时,维萨拉也凭借着稳定可靠的产品性能、过硬的产品和快速响应的服务,赢得了中电四公司的青睐与信任。相信在不远的未来,维萨拉将与中电四公司开展更为深入的战略合作,助力双方的品牌出现在更多高精尖产品的打造和应用场景之中。